爱发科真空泵维修加工-爱发科真空泵维修-东莞东欧真空设备

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，爱发科真空泵维修加工，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能---，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，爱发科真空泵维修保养，要全部更换真空泵油

适用于 applied materials 制程平台的 ipup

ipup2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

ipup2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省---的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。

适合在 applied materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。

3 万亿次循环 mtbf

与原始 ipup? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供适用于现有 ipup? 的 插入式替换部件