




epx 180真空干泵
epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构, 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。
epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
epx180l、le、n、ne
epx180 twinl、le、n、ne
epx500l、le、n、ne
为增加真空泵的使用期和没有问题上班时间,es65真空泵维修厂家,需对爱得华旋片真空泵开展日常查验维护保养,肇庆es65真空泵维修,维护保养次数可以根据检修工作经验开展适时调整。1,查验泵油油位泵启动前,先要从油标查验油位是不是由此可见并且在“min”刻线之上,仅有做到这里,真空泵才可以正常运行。此外,启动新泵或真空泵有十分一段时间并没有运行中,还应当在泵启动后查验油位是不是轻微降低(3~5mm),es65真空泵维修哪里有,这一降低说明泵有带油启动。如果发现油位没有在工作中刻线范围之内时,需及时加油至工作中刻线范围之内。2,观查泵油颜色应经常在油标内观查泵油颜色,油理应清澈透亮,呈焦黄色,倘若发觉泵油掉色或者出现混浊,理应定期更换泵油,不然会危害真空泵的使用期和真空包装实际效果,使用爱得华泵油。泄油时---让泵运作15min,使泵油变暖,以利于泵油排出。
真空泵的常见故障是漏油、不能达到---真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
es 单级旋转式叶片泵
edwards es 系列泵代表了 单极油封旋转式叶片泵的重大进步。
增强的 性能:
同类的---真空级别和更宽的工作压力范围
稳定性:
稳定的真空性能,---波动
便捷性:
组合式 iso/bsp 连接,es65真空泵维修工厂,易于在现场维修
灵活性:
可单独使用,也可与机械增压泵一同使用,适用于各种应用
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