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em 系列大中型旋转式叶片油封式真空泵

em 系列泵是结实---的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 cfm）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，e2m80fx真空泵维修，具备的润滑回路，---性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。

e2m40 与 e2m80

edwards e2m 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供的保护。

真空泵维修：确定---真空度，在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的---真空度，因为系统的---真空度决定了系统的jia工作真空度。一般来讲，系统的---真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的---真空度低50%。

应用

目标应用包括：

pvd

电介质刻蚀

导体刻蚀

金属刻蚀

植入源

客户也将 igx 用于一系列 清洁和轻负载应用。