东欧真空设备有限公司-爱发科真空泵维修选

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，爱发科真空泵维修选，可在洁净室内实现低噪声。

尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以---真空泵在效率点运转，才能获得da的节能效果。

真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35c，温度不得超过80c 。

如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。

真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

真空泵在工作第yi个月内，经100小时更换润滑油，爱发科真空泵维修价格，以后每个500小时，换油一次。

经常调整填料压盖，---填料室内的滴漏情况正常。

定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。

edwards drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转，同时洁净、坚固、高，---取代传统的油封泵。 gv80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载，提供稳定的泵送性能、的维修---和低运行成本。 drystar 80 使用干泵技术，具备的密封设计，可消除真空制程中的污染，揭阳爱发科真空泵维修，因此适合各种应用和环境。 edwards真空泵 工业干泵 gv80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵

概述

edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 drystar 泵。

我们的 gv drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高---性的同时不会带来制程污染的风险。

drystar 泵可以与 edwards eh 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。