爱发科真空泵维修保养-清远爱发科真空泵维修-东莞东欧真空设备

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，爱发科真空泵维修选，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

后来没有办法爱德华真空泵维修了肯定是不能用了，就只好送到我们公司进行回收，尽量将损失减到yi。所以说找爱德华真空泵维修厂家就要找的，随意选择+贪图便宜只会让自己吃亏。

功能与优势

优化了设施消耗

无需预防性维护

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

在节功率的同时提高了工作繁重的 cvd 应用条件下的稳定性

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的

轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间

泵系列