




真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律,通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动,是一种古老的维修方式,仅适用于安全性、---性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂,以及因发生故障所造成的---日益增大,那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要,采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (tact)
仅仅 0.55kw 的功耗 有助于减少客户拥有成本
模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oc 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻, 有助于节省---的工厂空间
适用于严苛应用的大型 ixl 干泵
ixl1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、pvd 和 计量)的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 ixl120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。
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功能与优势
优化了设施消耗
无需预防性维护
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
在节功率的同时提高了工作繁重的 cvd 应用条件下的稳定性
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的
轴杆一体化设计无需电机联轴器,普旭螺杆真空泵维修,第五抽排级免除对的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间
泵系列
真空泵使用前须符合哪些要求?如下所示:
一、驱动机的转向应与泵的转向相符。
二、各连接螺栓不得有松动现象。
三、在调节机座内、安全补油阀组、泵缸腔内或液压隔膜腔内加注润滑油,均应符合设备技术文件的规定。液压隔膜式计量泵的液压腔内不得存有气体。
双级旋片真空泵转子和泵体之间, 转子与端盖之间的间隙使用油封密封,普旭螺杆真空泵维修---, 以防漏气。预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂,普旭螺杆真空泵维修报价,以及因发生故障所造成的---日益增大,那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要,采用预防维修是不可缺少的。
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