真空泵应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件,注意皮带松紧是杏适当.---时应调整或更换,应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,需要根据具体情况定期换油。
爱德华真空泵维修之前首先应摸清它的底细,e2m175t3真空泵维修,即该泵制造工艺情况、使用情况、原始参数数据、日前:a况、故障前的使用环境、负材状况、故隙现象婶,然后根据操作使用者的反映,以及---观察和试仙测所掌搬的
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功能与优势
优化了设施消耗
无需预防性维护
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
在节功率的同时提高了工作繁重的 cvd 应用条件下的稳定性
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的
轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对的需求,也避免了颗粒堆积,gxs160真空泵维修,两者均减少了总体占地空间
泵系列
epx 180真空干泵
epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构, 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。
epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
epx180l、le、n、ne
epx180 twinl、le、n、ne
epx500l、le、n、ne
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