江门爱发科真空泵维修-东欧真空设备公司

真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。

1、事后维修

它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、---性要求不高的情况。

2、预防维修

预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，爱发科真空泵维修便宜，以及因发生故障所造成的---日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。

的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (tact)

仅仅 0.55kw 的功耗 有助于减少客户拥有成本

模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗

35oc 的水 供给有助于降低设备冷却水要求

且极轻， 有助于节省---的工厂空间

适用于严苛应用的大型 ixl 干泵

ixl1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、pvd 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 ixl120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过模式可在空闲期间降低设备 使用率，江门爱发科真空泵维修，从而降低成本并帮助保护环境。

我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，该方法非常有效。

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igx 干泵真空系统

igx 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了上受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20，000 套以上。 igx 系列包括 microtim 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，爱发科真空泵维修保养，同时包括一套的网络选项， 可---泵持续运转。

igx 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 igx 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。

通过使用 igx 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 il/ih 干泵相比）。  

基于包含 200 个工具、537 台泵/70% igx 泵、30% ih 泵/ igx 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。